在半導(dǎo)體制造這一追求極致精度與純度的領(lǐng)域，氣體的純凈度直接關(guān)乎芯片的性能與良品率。恒歌氣體過濾器憑借卓越的性能、先進的技術(shù)以及高度定制化服務(wù)，傲然成為半導(dǎo)體行業(yè)高純 / 超純氣體過濾系統(tǒng)的首選，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展筑牢堅實根基。?

一、適配極端工況，穩(wěn)定可靠運行?

半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，部分工藝涉及高溫、高壓力環(huán)境，對氣體過濾設(shè)備的耐受性提出嚴苛挑戰(zhàn)。恒歌氣體過濾器采用整體 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)，這種優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料具有出色的耐高溫、耐高壓以及耐腐蝕性能。在高溫制程中，如化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝，溫度可高達數(shù)百攝氏度，恒歌過濾器能夠穩(wěn)定運行，確保過濾性能不受高溫影響;面對高壓力的氣體輸送環(huán)節(jié)，其堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu)可承受巨大壓力差，防止因壓力波動導(dǎo)致的設(shè)備損壞或過濾效果下降。無論是在強酸堿腐蝕性氣體充斥的蝕刻工藝，還是其他復(fù)雜化學(xué)環(huán)境中，316L 不銹鋼材質(zhì)都能有效抵御侵蝕，保障過濾器長期可靠地工作，為半導(dǎo)體生產(chǎn)的連續(xù)性與穩(wěn)定性提供有力支撐。?

二、先進納米攔截，實現(xiàn)超高純度?

半導(dǎo)體制造對于氣體中雜質(zhì)的容忍度極低，哪怕是極其微小的顆粒或雜質(zhì)都可能對芯片的精密結(jié)構(gòu)造成致命影響。恒歌氣體過濾器配備先進的納米攔截功能，內(nèi)置 0.003 – 100 微米過濾器，能夠精準捕捉氣體中的各類雜質(zhì)，包括納米級顆粒、微生物以及金屬離子等。經(jīng)過嚴格檢測，出口氣體各雜質(zhì)含量小于 5ppb，以超高的顆粒攔截效率，為半導(dǎo)體生產(chǎn)提供近乎完美純凈的氣體環(huán)境。在光刻工藝中，超純的氣體經(jīng)恒歌過濾器凈化后，可極大減少光刻膠上的缺陷，提高芯片圖案的分辨率與精度，助力半導(dǎo)體企業(yè)制造出更小尺寸、更高性能的芯片，在激烈的市場競爭中占據(jù)優(yōu)勢。?

三、高通量低阻力，高效節(jié)能兼顧?

在半導(dǎo)體生產(chǎn)的大規(guī)模氣體處理需求下，過濾器的通量與阻力成為影響生產(chǎn)效率與能耗的關(guān)鍵因素。恒歌金屬濾材氣體過濾器具備高通量、低阻力的顯著優(yōu)勢。其精心設(shè)計的過濾結(jié)構(gòu)與優(yōu)質(zhì)濾材，允許大量氣體快速通過，同時最大限度降低氣體流動過程中的壓力損失。這不僅提高了生產(chǎn)效率，減少了氣體輸送過程中的能耗，還降低了企業(yè)的運營成本。例如，在大型半導(dǎo)體制造工廠的氣體供應(yīng)系統(tǒng)中，恒歌過濾器能夠高效處理海量工藝氣體，確保各生產(chǎn)環(huán)節(jié)對氣體流量與壓力的嚴格要求，同時為企業(yè)節(jié)省可觀的能源開支，實現(xiàn)經(jīng)濟效益與環(huán)境效益的雙贏。?

四、多規(guī)格易定制，專業(yè)方案適配?

恒歌深知半導(dǎo)體行業(yè)客戶需求的多樣性，為此提供多種規(guī)格型號的金屬濾材氣體過濾器，并具備強大的 OEM 定制服務(wù)能力。無論客戶的項目規(guī)模大小，工藝要求如何獨特，恒歌專業(yè)的技術(shù)團隊都能深入溝通，依據(jù)客戶需求進行精準設(shè)計與生產(chǎn)。從適配不同工藝氣體(涵蓋半導(dǎo)體制造中常用的各類特殊氣體)，到可配置兩閥、三閥和四閥等組件以滿足特定系統(tǒng)架構(gòu)，再到過濾器整體的尺寸、結(jié)構(gòu)優(yōu)化，恒歌都能提供最專業(yè)的過濾解決方案。此外，每一個恒歌過濾器都經(jīng)過 100% 氨氣檢露測試，嚴格的質(zhì)量把控確保產(chǎn)品在交付客戶前無任何泄漏風(fēng)險，以高品質(zhì)、定制化的產(chǎn)品助力半導(dǎo)體企業(yè)實現(xiàn)高效、穩(wěn)定的生產(chǎn)目標。?

選擇恒歌氣體過濾器，就是選擇在半導(dǎo)體行業(yè)高純 / 超純氣體過濾領(lǐng)域的卓越品質(zhì)、先進技術(shù)與貼心服務(wù)。恒歌愿與半導(dǎo)體行業(yè)的眾多合作伙伴攜手共進，為推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向更高水平貢獻力量。